產(chǎn)品簡介
NE-Q05H小型等離子體清洗儀整套系統(tǒng)包括真空倉、射頻發(fā)生器、真空泵以及進(jìn)排氣口。處理器為電容耦合外電極型，處理室為圓筒形石英玻璃。等離子體放電系統(tǒng)為200W高頻振蕩電源，電源頻率13.56MHz，為了保證電源有效地供給放電功率，在電源與放電電極間配有阻抗匹配器。此設(shè)備處理器采用外電極式，即放電能量從處理器外部施加，可以避免電極的腐蝕和反應(yīng)物在極板沉積的問題。
等離子清洗技術(shù)利用了低溫等離子體特性使等離子體與材料表面進(jìn)行接觸與反應(yīng), 使被處理材料表面得到化學(xué)、物理的清潔,提高表面的潤濕性,或者植入新的化學(xué)官能團(tuán)以及表面蝕刻。
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | NE-Q05H |
| 頻率 | 射頻13. 56 MHz 固態(tài)射頻電源 |
| 功率 | 200W |
| 腔體材質(zhì) | 石英耐熱玻璃 |
| 腔體容積 | 5L |
| 腔體尺寸（圓形） | Φ150×280（D）mm |
| 氣體流量控制器 | MFC 質(zhì)量流量控制器， 0-300sccm |
| 氣路數(shù)量 | 2 路氣體，支持氧氣，氬氣等（如需接入腐蝕性氣體，提前告知） |
| 真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼真空硅管 |
極限真空度 | 1Pa |
| 控制方式 | PLC+4.3寸觸摸屏 |
| 電源供應(yīng) | 220V |
| 外形尺寸 | 548mm(L)×588mm(W) ×617 mm(H) |
產(chǎn)品應(yīng)用
表面親疏水改性
提升材料表面能
改變材料表面形貌
引入特殊的官能團(tuán)
PDMS鍵合
提高粘接性能
等離子技術(shù)
Support
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