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NE-PE40F是一款中小型真空等離子清洗機(jī)，廣泛應(yīng)用于科研院校，企業(yè)研發(fā)單位和小批量生產(chǎn)打樣。等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體去除材料表面污染物的清洗設(shè)備,設(shè)備采用PLC觸摸屏控制，電源采用自動匹配電源，通過真空泵快速產(chǎn)生一個1-20 Pa的真空壓強(qiáng)，同時根據(jù)客戶工藝要求，對真空反應(yīng)腔室內(nèi)通入不同的混合工藝氣體，使得通入的工藝氣體電離產(chǎn)生等離子體。工作過程中,等離子體中的高能粒子與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理轟擊，使污染物解離、氧化或還原,形成揮發(fā)性產(chǎn)物，進(jìn)而達(dá)到表面污染物的清洗的效果。

NE-PE40F具有如下的優(yōu)點(diǎn)：（1）等離子清洗機(jī)清洗效率高，應(yīng)用范圍廣；（2）對清洗樣品，沒有任何外觀尺寸、材質(zhì)等要求；（3）在清洗過程中，溫升比較小，基本可達(dá)到常溫處理；（4）射頻功率可無極連續(xù)可調(diào)，高效的特制電極是產(chǎn)生均勻等離子體的保證；（5）特有的過載、過熱和短路保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全；（6）設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)都極為簡單。