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工藝氣體流量的穩(wěn)定性對(duì)工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)的處理效果具有重要的影響。為了確保清洗效果，大多數(shù)工藝都對(duì)氣體流量控制要求非常嚴(yán)格。因此，工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)通常采用質(zhì)量流量控制器來(lái)控制工藝氣體流量。

在工業(yè)型真空等離子清洗機(jī)實(shí)際使用過(guò)程中，不同的工藝要求需要使用不同流量控制范圍的質(zhì)量流量控制器。真空等離子清洗機(jī)常用的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間。對(duì)于一些大型真空等離子清洗機(jī)，還需要使用0~1SLM規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。（注意：?jiǎn)挝籗CCM和“ml/min，0℃，1atm”等同；單位SLM和“L/min，0℃，1atm”等同。) 在選擇通入不同工藝氣體時(shí)，建議選擇對(duì)應(yīng)氣體的專用質(zhì)量流量控制器，以確保輸入氣體的穩(wěn)定和計(jì)量。這是因?yàn)椴煌に嚉怏w的分子大小、化學(xué)特性等都會(huì)對(duì)流量控制器的性能產(chǎn)生影響，可能會(huì)導(dǎo)致流量誤差和安全隱患。

如果使用傳統(tǒng)的工藝氣體，可以選擇一種氣體作為標(biāo)準(zhǔn)，其中僅需要確保氣體流速的穩(wěn)定性。要注意的是，對(duì)于氫氣（H₂）、四氟化碳（CF4）等特殊氣體，易爆易燃且具有腐蝕性的氣體，必須使用專用的質(zhì)量流量控制器。這些特殊氣體在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中具有很高的危險(xiǎn)性，一旦泄漏或受到外界刺激，可能會(huì)引發(fā)爆炸或火災(zāi)等安全事故。因此，在選擇通入氣體時(shí)，必須充分考慮氣體的特性和安全性，以確保實(shí)驗(yàn)操作的安全順利進(jìn)行。

此外，實(shí)驗(yàn)型真空等離子清洗機(jī)機(jī)通常對(duì)流量控制要求不是很嚴(yán)格，因此也可以選用手動(dòng)浮子流量計(jì)。手動(dòng)浮子流量計(jì)操作簡(jiǎn)單、價(jià)格便宜，對(duì)于一些流量變化不大的情況比較適用。

但是，在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中，由于氣體的不穩(wěn)定性和不確定性，手動(dòng)浮子流量計(jì)的精度和穩(wěn)定性可能無(wú)法滿足實(shí)驗(yàn)要求，因此在實(shí)際應(yīng)用中，建議選擇專用的質(zhì)量流量控制器，以確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和安全性。